Профиль » Публикация
Опубликовано на SciPeople2010-05-24 16:11:37
Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии
Рыжикова Ю.В. Численное моделирование формирования изображения в проекционной фотолитографии : автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.03. - M, 2008.
Аннотация
http://phys.msu.ru/upload/iblock/0ed/2008-00-00-ryzhikova.pdf
Показать статистику Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
