Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2012-02-22 Опубликовано на SciPeople2012-08-21 10:37:05 ЖурналСхідно-Європейський журнал передових технологій

Закономерности структурообразования при вакуумно-дуговом осаждении многослойных наноструктурных TiN-MoN покрытий

Олег Валентинович Соболь, Анатолий Афанасьевич Андреев, Сергей Николаевич Григорьев, Виктор Федорович Горбань, Вячеслав Александрович Столбовой, Ирина Витальевна Сердюк, Владислав Евгеньевич Фильчиков Закономерности структурообразования при вакуумно-дуговом осаждении многослойных наноструктурных TiN-MoN покрытий // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 6, Issue 5, 2012, pp. 4-9

Аннотация Методом рентгенівської дифрактометрії вивчені закономірності структуроутворення в багатошарових TіN-MoN покриттях залежно від умов одержання: величини потенціалу зсуву, товщини шарів, подачі високовольтних імпульсів