Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2012-04-26 Опубликовано на SciPeople2012-08-21 10:37:07 ЖурналСхідно-Європейський журнал передових технологій

Сучасні лазерні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС

Степан Петрович Новосядлий, Андрій Іванович Терлецький, Оксана Богданівна Фрик / Алина Селезнева ^{контактное лицо}

Степан Петрович Новосядлий, Андрій Іванович Терлецький, Оксана Богданівна Фрик Сучасні лазерні твердофазні технологічні процеси в субмікронній технології ВІС // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 3, Issue 7, 2012, pp. 52-60

Аннотация Розглянуто фізичні процеси при лазерно-стимульованій твердофазній дифузії домішок в напівпровідникові матеріали та метали. Наведено приклади застосування таких процесів для вирішення конкретних технологічних задач напівпровідникової електроніки.