Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2012-04-26 Опубликовано на SciPeople2012-08-21 10:37:07 ЖурналСхідно-Європейський журнал передових технологій

Еліпсометрія в субмікронній технології формування структур ВІС

Степан Петрович Новосядлий, Володимир Михайлович Вівчарук / Алина Селезнева ^{контактное лицо}

Степан Петрович Новосядлий, Володимир Михайлович Вівчарук Еліпсометрія в субмікронній технології формування структур ВІС // Східно-Європейський журнал передових технологій, Vol. 3, Issue 7, 2012, pp. 8-17

Аннотация Приведено фізико-математичні принципи еліпсометрії, суть її використання для визначення оптичних сталих, контролю та дослідження властивостей і процесів отримання функціональних шарів при формуванні субмікронних структур великих інтегральних схем.