Профиль » Публикация
Опубликовано
2005-04-11
ЖурналЭлектронный журнал "Исследовано в России"
Микроэлектрохимическая обработка поверхности полупроводниковыми электрод-инструментами
Глебов В.В. Микроэлектрохимическая обработка поверхности полупроводниковыми электрод-инструментами
// Электронный журнал "Исследовано в России", 8, 1002-1004, 2005. http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2005/096.pdf
Аннотация
Электрохимическая обработка (ЭХО) является перспективной технологией для микромеханической обработки. В статье рассмотрена технология проектирования и создания электрод-инструментов (ЭИ) на базе полупроводниковых структур SnO2/CdS и Si. Показана возможность усиления плотности технологического тока. Сообщается также о некоторых практических применениях микро-ЭХО. Дальнейшие исследования технологии создания ЭИ откроют новые возможности повышения точности обработки и эффективности использования ЭХО для микромеханической обработки.
http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2005/096.pdf
Показать статистику Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
