Профиль » Публикация

Аннотация Ранее нами была предложена одномерная модель тепломассопереноса, которая была апробирована для сублимации однокомпонентного образца ацетилацетоната хрома(III). В настоящей работе мы предлагаем двумерную модель для описания сублимации многокомпонентных систем молекулярных кристаллов в потоке инертного газа для моделирования ''горячих'' источников прекурсоров с ограниченной устойчивостью при длительных CVD-процессах. Предлагаемая модель базируется на уравнениях конвективного тепло- и массообмена при условии теплового и массового баланса на границе фазового перехода. Была численно просчитана кинетика сублимации двух прекурсоров (-дикетонатов хрома (III) и меди(II), расположенных в канале последовательно, установлены термические характеристики газового источника от параметров массопереноса. Полученные результаты могут использоваться для оптимизации технологических параметров и исследования путей управления собственно CVD-процессом.