Профиль » Публикация
Опубликовано
2004-09-18
ЖурналЭлектронный журнал "Исследовано в России"
Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
Смирнова Т.П., Бадалян А.М., Борисов В.О., Каичев В.В., Бахтурова Л.Ф., Рахлин В.И., Воронков М.Г., Мирсков Р.Г. Плазмохимический синтез пленок карбонитрида кремния
// Электронный журнал "Исследовано в России", 7, 1607-1615, 2004. http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2004/147.pdf
Аннотация
http://zhurnal.ape.relarn.ru/articles/2004/147.pdf
Показать статистику Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
