Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут прикладных физических проблем, 220064, Минск, Белоруссия Белорусский государственный университет, 220050, Минск, Белоруссия Институт математики АН Белоруссий, 220072, Минск, Белоруссия ЖурналЖурнал Технической Физики

Распределение внедренной примеси и выделенной энергии при&nbsp;высокоэнергетической ионной имплантации

Комаров Ф.Ф., Мозолевский И.Е., Матус П.П., Ананич С.Э.

Комаров Ф.Ф., Мозолевский И.Е., Матус П.П., Ананич С.Э. Распределение внедренной примеси и выделенной энергии при высокоэнергетической ионной имплантации // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 1, Стр. 61

Аннотация Предложена новая модель высокоэнергетической ионной имплантации, основанная на использовании уравнения Фоккера--Планка. Разработан эффективный алгоритм адаптивного типа для численного решения задачи. Проведено моделирование имплантации B в Si в области энергий от 10 до 100 МэВ. Получено хорошее согласование с экспериментальными данными и результатами моделирования методом Монте-Карло.