Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут сильноточной электроники СО РАН, 634055 Томск, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Свойства алмазоподобных пленок, полученных в барьерном разряде при атмосферном давлении

Бугаев С.П., Коротаев А.Д., Оскомов К.В., Сочугов Н.С.

Бугаев С.П., Коротаев А.Д., Оскомов К.В., Сочугов Н.С. Свойства алмазоподобных пленок, полученных в барьерном разряде при атмосферном давлении // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 8, Стр. 100

Аннотация Из газообразных углеводородов в барьерном разряде при атмосферном давлении получены алмазоподобные пленки. Проведены исследования покрытий методами просвечивающей электронной микроскопии, дифракции электронов и абсорбционной ИК спектроскопии. Изложена методика определения количественных характеристик пленок (доля водорода, соотношение разных видов углерод-углеродных связей и углеводородных групп) с помощью эталонных образцов. Покрытия с наилучшими характеристиками получены из метана (отношение атомов водорода и углерода H/C=1.04, доля алмазоподобных и графитоподобных связей sp3!:! sp2=100%!:!0%) и из смеси ацетилена и водорода в соотношении 1!:!19 (H/C=0.73, sp3!:sp2= 68%:32%).