Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 Организация1Институт вычислительных технологий СО РАН, Новосибирск, Россия 2Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия 3Институт неорганической химии СО РАН, Новосибирск, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Теоретическая модель для описания деградации тонких водородсодержащих пленок

Гадияк Г.В., Гадияк В.Г., Косинова М.Л., Сальман Е.Г.

Гадияк Г.В., Гадияк В.Г., Косинова М.Л., Сальман Е.Г. Теоретическая модель для описания деградации тонких водородсодержащих пленок // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 8, Стр. 105

Аннотация Предложена новая теоретическая модель для описания поведения пленок составных водородсодержащих соединений при термических обработках. В основе модели лежит термическая генерация атомов водорода и атомов составных соединений с их последующей диффузией к границам и просачиванием через поверхность в атмосферу. Выполнены расчеты по термической обработке пленок нитрида кремния. Сравнение с литературными экспериментальными данными показывает высокую эффективность предлагаемой модели.