Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:
Опубликовать в блог:
Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут микроэлектроники РАН, 150007 Ярославль, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики


Электроформовка как процесс самоорганизации нанометрового зазора в углеродистой среде
Валиев К.А., Левин В.Л., Мордвинцев В.М.
Валиев К.А., Левин В.Л., Мордвинцев В.М. Электроформовка как процесс самоорганизации нанометрового зазора в углеродистой среде // ЖТФ, 1997, том 67, выпуск 11, Стр. 39
Аннотация На основе анализа имеющихся экспериментальных данных, а также предложенных механизмов и моделей процессов, имеющих место при электроформовке структуры металл--изолятор--металл, делается вывод, что она включает следующие две стадии: образование углеродистой проводящей среды из органических молекул за счет протекания тока в изолирующей щели и самоорганизацию нанометрового зазора в углеродистой проводящей среде через бифуркацию при локальном превышении температурой этой среды некоторого критического значения из-за ее саморазогрева. Можно утверждать, что нанозазор является диссипативной структурой, возникающей в силу тепловой неустойчивости в углеродистой среде при прохождении через нее потока электронов и наличии сильного электрического поля, стабильность которой обеспечивается существенной нелинейностью происходящих в нем процессов, включенных в механизм обратной звязи. Показано, что необходимая для выполнения электроформовки начальная проводимость структуры может быть реализована за счет нанометровой ширины изолирующей щели, что продемонстрировано экспериментально с помощью конструкции, названной открытой "сэндвич"-МИМ структурой.
Ключевые слова публикации:
   

Комментарии

Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален