Профиль » Публикация

Аннотация На основе использования кинетической теории переноса получены аналитические зависимости дозы поглощенного потока первичных частиц и дозы поглощенной энергии первичных частиц на различной глубине твердого тела конечной или полубесконечной толщины при облучении поверхности потоком ускоренных ионов (атомов) в направлении нормали к поверхности. Сравнение с опытом проводилось для твердотельных пленок кремния толщиной 50, 100 и 400 nm, облучаемых потоком ускоренных ионов бора с энергией 10 и 20 keV. Установленные закономерности были использованы для вычисления распределения вакансий по глубине, возникающих в твердом теле при облучении поверхности твердого тела потоком ускоренных ионов. Разработанная методика позволяет определить распределение вакансий по глубине, созданных потоком ускоренных электронов, нейтронов, квантов электромагнитного излучения.