Профиль » Публикация

Аннотация Разработан метод численного решения уравнения для функции распределения тяжелых ионов по полным энергиям в катодном слое тлеющего разряда в смеси интертных газов, требующий намного меньших затрат машинного времени, чем метод Монте-Карло. Показано, что он позволяет с удовлетворительной точностью рассчитать энергетический спектр тяжелых ионов, бомбардирующих катод в приборах тлеющего разряда.