Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 ОрганизацияИнститут проблем машиноведения РАН, 199178 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Механизмы и кинетика начальных стадий роста пленок, выращиваемых методом химического газофазного осаждения

Григорьев Д.А., Кукушкин С.А.

Григорьев Д.А., Кукушкин С.А. Механизмы и кинетика начальных стадий роста пленок, выращиваемых методом химического газофазного осаждения // ЖТФ, 1998, том 68, выпуск 7, Стр. 111

Аннотация Исследуются начальные стадии роста пленок и покрытий методом химического газофазного осаждения. Получена система уравнений, описывающая процесс эволюции островковой пленки на стадии оствальдовского созревания в условиях, характерных для процесса газофазного осаждения. Решение данной системы позволило получить зависимости всех основных характеристик островковой пленки (функцию распределения островков по размерам, зависимости среднего радиуса и плотности островков) как функции времени и пространственной координаты. Даны рекомендации по получению пленок с заранее заданными свойствами.