Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 Организация1 Московский государственный университет им. М.В.&nbsp;Ломоносова, 119899 Москва, Россия 2 Институт общей физики РАН, 117942 Москва, Россия 3 Электротехническая лаборатория, Цукуба, Ибараки 305, Япония ЖурналЖурнал Технической Физики

Определение теплопроводности алмазных поликристаллических пленок с&nbsp;помощью фотоакустического эффекта

Образцов А.Н., Павловский И.Ю., Ральченко В.Г., Окуши Х., Ватанабе Х.

Образцов А.Н., Павловский И.Ю., Ральченко В.Г., Окуши Х., Ватанабе Х. Определение теплопроводности алмазных поликристаллических пленок с помощью фотоакустического эффекта // ЖТФ, 1999, том 69, выпуск 4, Стр. 97

Аннотация Предложен новый метод определения теплопроводящих свойств алмазных пленок, основанный на фотоакустическом эффекте. С использованием этого метода исследованы алмазные поликристаллические пленки, выращенные на кремнии путем газофазного химического осаждения в плазме СВЧ разряда. Полученная величина коэффициента теплопроводности оказалась примерно вдвое ниже, чем в монокристаллическом алмазе.