Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияИнститут электроники АН Белоруссии, 220841 Минск, Белоруссия ЖурналЖурнал Технической Физики

Структурные и фазовые превращения в&nbsp;тонких пленках титана при&nbsp;облучении азот-водородной плазмой

Чапланов А.М., Щербакова Е.Н.

Чапланов А.М., Щербакова Е.Н. Структурные и фазовые превращения в тонких пленках титана при облучении азот-водородной плазмой // ЖТФ, 1999, том 69, выпуск 10, Стр. 102

Аннотация Исследованы структурные и фазовые превращения в пленках титана при обработке в азот-водородной плазме. Установлены закономерности формирования и роста нитрида титана в зависимости от параметров плазменного облучения. Определено удельное электросопротивление облученных пленок.