Профиль » Публикация

Аннотация Описан эффект взрывного ускорения процесса травления пленки полиамидокислоты в кислородной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления (P=0.2 Pa). Величина пика скорости травления зависела от энергии бомбардирующих ионов и толщины пленки. Взрывная кинетика травления пленки полиамидокислоты обусловлена протеканием в ее объеме реакции циклодегидратации, в результате которой она превращается в полиимидную пленку. Процесс имидизации в свою очередь ускоряется из-за нагрева образца, обусловленного протеканием на поверхности экзотермических реакций окисления. Таким образом, между двумя реакциями существует положительная обратная связь, что приводит к развитию ионно-инициированного цепного процесса травления и имидизации пленки полиамидокислоты.