Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 Организация1 Институт физики им. Л.В.&nbsp;Киренского СО РАН, 660036 Красноярск, Россия 2 Сибирская аэрокосмическая академия, 660014 Красноярск, Россия ЖурналЖурнал Технической Физики

Мишени на основе ферритов и&nbsp;высокотемпературных сверхпроводников для ионно-плазменного распыления

Лепешев А.А., Саунин В.Н., Телегин С.В., Полякова К.П., Середкин В.А., Польский А.И.

Лепешев А.А., Саунин В.Н., Телегин С.В., Полякова К.П., Середкин В.А., Польский А.И. Мишени на основе ферритов и высокотемпературных сверхпроводников для ионно-плазменного распыления // ЖТФ, 2000, том 70, выпуск 5, Стр. 130

Аннотация Описан способ получения мишеней для ионно-плазменного распыления с использованием метода плазменного напыления соответствующих порошков на охлаждаемую металлическую основу. Показано, что применение плазменной технологии дает возможность изготавливать в контролируемой атмосфере мишени сложной формы из керамических материалов, обеспечивая их высокую однородность по составу, а также надежный механический и тепловой контакт получаемого покрытия с основой-держателем. Проведены эксперименты по ионно-плазменному распылению мишеней с целью получения поликристаллических пленок ферритов для магнитооптических применений и эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников.