Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияИнститут электроники АН Белоруссии, 220841 Минск, Белоруссия E-mail: chap@inel.bas-net.by ЖурналЖурнал Технической Физики

Изменение фазового состава и электрофизических свойств контакта титан-кремний при&nbsp;облучении азотводородной плазмой

Чапланов А.М., Щербакова Е.Н.

Чапланов А.М., Щербакова Е.Н. Изменение фазового состава и электрофизических свойств контакта титан-кремний при облучении азотводородной плазмой // ЖТФ, 2000, том 70, выпуск 10, Стр. 102

Аннотация Методами электронографии и электронной оже-спектроскопии исследованы фазовые превращения в системе титан-кремний при обработке в азотводородной плазме. Определены оптимальные режимы формирования тонких пленок TiN на кремнии. Показано, что имеют место уменьшение высоты барьера Шоттки и увеличение практически на порядок пробивного напряжения контактов, обработанных азотводородной плазмой, по сравнению с исходными образцами. Установлены зависимости электрофизических свойств контактов от параметров обработки азотводородной плазмой.