Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияЧерновицкий государственный университет, 58012 Черновцы, Украина e-mail для переписки: melnych@cv.ukrtel.net ЖурналЖурнал Технической Физики

Получение тонких пленок полупроводниковых соединений с&nbsp;применением капиллярных испарителей

Грицюк Б.Н., Ляхов А.А., Мельничук С.В., Стребежев В.Н.

Грицюк Б.Н., Ляхов А.А., Мельничук С.В., Стребежев В.Н. Получение тонких пленок полупроводниковых соединений с применением капиллярных испарителей // ЖТФ, 2001, том 71, выпуск 9, Стр. 54

Аннотация Представлены экспериментальные результаты распределения толщины пленки разлагающихся полупроводниковых соединений, полученных с использованием капиллярных испарителей. В приближении вязкого потока получено выражение, описывающее толщину пленки на поверхности подложки в зависимости от расстояния от края капилляра до площадки осаждения и угла между осью капилляра и направлением осаждения.