Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияПоморский государственный университет им. М.В.&nbsp;Ломоносова, 163006 Архангельск, Россия e-mail: matveev.victor@pomorsu.ru ЖурналЖурнал Технической Физики

Распределения кластеров по&nbsp;зарядам и&nbsp;размерам при ионном распылении металла

Матвеев В.И.

Матвеев В.И. Распределения кластеров по зарядам и размерам при ионном распылении металла // ЖТФ, 2002, том 72, выпуск 6, Стр. 115

Аннотация Развито описание распыления металла в виде нейтральных и заряженных больших кластеров с числом атомов N>=q 5 при ионной бомбардировке, основанное на простых физических предположениях и находящееся в согласии с экспериментом. Результаты представлены в виде простых формул. В качестве примера проведены расчеты относительных масс-спектров нейтральных и однозарядных кластеров при ионном распылении тантала, а также коэффициентов ионизации кластеров серебра.