Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияИнститут проблем лазерных и информационных технологий РАН, 140700 Шатура, Московская область, Россия e-mail: banishev@laser.nictl.msk.su ЖурналЖурнал Технической Физики

Влияние внешней атмосферы и типа газа на генерацию дефектов и&nbsp;разрушение поверхности кремния при&nbsp;воздействии лазерных импульсов

Банишев А.Ф., Голубев В.С., Кремнев А.Ю.

Банишев А.Ф., Голубев В.С., Кремнев А.Ю. Влияние внешней атмосферы и типа газа на генерацию дефектов и разрушение поверхности кремния при воздействии лазерных импульсов // ЖТФ, 2004, том 74, выпуск 8, Стр. 81

Аннотация Исследуется твердофазное разрушение поверхности кремния при импульсном воздействии субмикросекундных лазерных импульсов в атмосфере различных газов: активных --- кислород, азот, углекислый газ и инертных --- гелий, аргон, криптон. Установлено, что порог разрушения поверхности (порог образования неоднородностей рельефа поверхности) наименьший а атмосфере гелия и наибольший в атмосфере криптона. Предложен механизм роста и релаксации неоднородностей.