Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:
Опубликовать в блог:
Опубликовано 1999-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"


Неустойчивость упруго-сжатой поверхности кремния при травлении
Шретер Ю.Г., Тархин Д.В., Хорев С.А., Ребане Ю.Т.
Шретер Ю.Г., Тархин Д.В., Хорев С.А., Ребане Ю.Т. Неустойчивость упруго-сжатой поверхности кремния при травлении // ФТТ, 1999, том 41, выпуск 8, Стр. 1416
Аннотация Необычный рельеф в виде линейных дефектов, похожих на квазитрещины или канавки, наблюдался на сжатой поверхности изогнутой пластины кремния в процессе ее химической обработки --- травления. Среднее расстояние между возникающими дефектами определялось величиной механической деформации поверхности. Предполагается, что причиной этого явления может быть нестабильность Азаро--Тиллера--Гринфельда (АТГ) в системе "сжатая поверхность--агрессивная среда (травитель)". Предложена простая методика создания значительных механических деформаций поверхности кремния (до 0.5%) при комнатной температуре.
Ключевые слова публикации:
       

Комментарии

Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален