Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияИнститут новых химических проблем Российской академии наук, 142432 Черноголовка, Московская обл., Россия *&nbsp;Российский научный центр "ЦНИИЧермет им.&nbsp;И.П.&nbsp;Бардина", 107005 Москва, Россия **&nbsp;Department of Materia ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Высокоразрешающая просвечивающая и&nbsp;сканирующая электронная микроскопия наноструктурных боридонитридных пленок

Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Штанский Д.В.

Андриевский Р.А., Калинников Г.В., Штанский Д.В. Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных боридонитридных пленок // ФТТ, 2000, том 42, выпуск 4, Стр. 741

Аннотация Приведены результаты электронно-микроскопического изучения границ зерен и структуры изломов пленок на основе борида и нитрида титана, полученных методом нереактивного магнетронного распыления. Химический и фазовый состав пленок анализировался с помощью оже-электронной спектроскопии и микроэлектронной дифракции. Обсуждается структура границ, наличие аморфных включений, присутствие дислокаций и других искажений структуры, а также характер деформации при индентировании. Работа выполнялась при поддержке программ ИНТАС (проект N 96-2232) и "Интеграция" (проект N 855).