Профиль » Публикация

Аннотация Методом четырехточечного изгиба изучены особенности генерации и движения дислокаций в монокристаллических пластинах кремния после различных термообработок. Показано, что отжиг пластин при 450oC приводит к существенному упрочнению пластин по сравнению с ростовым состоянием. Образующиеся в объеме пластин в процессе многоступенчатых термообработок кислородсодержащие перципитаты в преципитатно-дислокационные скопления являются эффективными центрами гетерогенного зарождения дислокаций под действием термических или механических напряжений. Обнаружено существенное разупорядочение пластин, подвергнутых многоступенчатым термообработкам в режиме формирования в их объеме внутреннего геттера. Установлена существенная роль температурно-временных режимов низкотемпературной стадии многоступенчатой термообработки в формировании дефектного состояния в матрице кристаллической решетки кремния и прочностных характеристик пластин.