Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 ОрганизацияМосковский государственный институт стали и сплавов (Технологический университет), 119049 Москва, Россия * ГНЦ &#92;glqq Центральный научно-исследовательский институт черной металлургии им. И.П.&nbsp;Бардина&#92;grqq, 107005 Москва, Россия E-m ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Структура исвойства покрытий Ti--B--N, Ti--Cr--B--(N) и Cr--B--(N), полученных магнетронным распылением мишеней, приготовленных методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза

Штанский Д.В., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Башкова И.А., Малочкин О.В., Левашов Е.А., Дьяконова Н.Б., Лясоцкий И.В.

Штанский Д.В., Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Башкова И.А., Малочкин О.В., Левашов Е.А., Дьяконова Н.Б., Лясоцкий И.В. Структура исвойства покрытий Ti--B--N, Ti--Cr--B--(N) и Cr--B--(N), полученных магнетронным распылением мишеней, приготовленных методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза // ФТТ, 2005, том 47, выпуск 2, Стр. 242

Аннотация Методами просвечивающей и сканирующей электронной микроскопии, рентгенофазового анализа, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии и атомно-силовой микроскопии исследованы структура и топография поверхности тонких пленок Ti--B--N, Ti--Cr--B--(N) и Cr--B--(N). Выполнен сравнительный анализ физических, механических и трибологических характеристик покрытий, включающий определение твердости, модуля упругости, упругого восстановления, критической нагрузки, коэффициента трения и скорости износа. Показано, что по своим физико-механическим и трибологическим свойствам покрытия Ti--B--N и Ti--Cr--B--N превосходят традиционные покрытия на основе TiN и Ti--C--N. Покрытия Ti--B--N и Ti--Cr--B--N, осажденные по оптимальным режимам, имели соответственно твердость 31--34 и 40--47 GPa, средний модуль упругости 378 и 506 GPa, коэффициент трения 0.49--0.6 и 0.45--0.52, скорость сухого износа (3.4-4.6)· 10-7 и (6.0-6.8)· 10-7 mm3N-1m-1 и максимальную критическую нагрузку 50 и 22 N. Обсуждаются особенности определения физико-механических свойств пленок при наноиндентировании и различный характер иx износа. Работа выполнена при финансовой поддержке Международного научно-технического центра (грант N 1852).