Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2005-00-00 Организация* Институт физики прочности и материаловедения Сибирского отделения Росссийской академии наук, 634021 Томск, Россия ** Томский государственный университет, 634050 Томск, Россия *** Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии ЖурналЖурнал "Физика Твердого Тела"

Исследование механических свойств тонких пленокAg накремниевой подложке методом наноиндентирования

Панин А.В., Шугуров А.Р., Оскомов К.В.

Панин А.В., Шугуров А.Р., Оскомов К.В. Исследование механических свойств тонких пленокAg накремниевой подложке методом наноиндентирования // ФТТ, 2005, том 47, выпуск 11, Стр. 1973

Аннотация Исследованы механические свойства тонких пленок Ag одинаковой толщины с различным размером зерен. Твердость пленок определялась с использованием методов Оливера--Фарра, из определения работы индентирования, а также путем непосредственного измерения площади отпечатка индентора по АСМ-изображениям. Для исключения влияния подложки на измеренные значения твердости применялась методика определения истинной твердости пленок. Установлено, что твердость пленок Ag уменьшается с ростом среднего размера зерна, в то время как модуль упругости практически не изменяется. Показано, что зависимость предела текучести пленок Ag от размера зерна не совпадает с классическим законом Холла--Петча. Работа выполнена при поддержке Российского фонда содействия науке, а также Министерства образования РФ и CRDF в рамках программы BRHE (проект N 016-02).