Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Моделирование массопереноса в условиях локальной газофазной эпитаксии с использованием маски

Проэкт Л.Б., Калитеевский М.А., Кантор В.Б., Пиотровский Д.А., Синицын М.А., Явич Б.С.

Проэкт Л.Б., Калитеевский М.А., Кантор В.Б., Пиотровский Д.А., Синицын М.А., Явич Б.С. Моделирование массопереноса в условиях локальной газофазной эпитаксии с использованием маски // ФТП, 1997, том 31, выпуск 4, Стр. 470

Аннотация Методом численого моделирования проведено исследование диффузионного массопереноса реагентов в условиях локальной газофазной эпитаксии с использованием маски. Рассмотрено возможное влияние адсорбции реагентов на поверхность маски и их поверхностной диффузии на скорость локального роста. Проведено сравнение результатов расчета с имеющимися в литературе экспериментальными данными.