Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут физики полупроводников Национальной академии наук Украины, 252650 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Распределение мелкой донорной примеси в пластине p-CdTe приееотжиге в парах Cd

Бабенцов В.Н., Власенко З.К., Власенко А.И., Любченко А.В.

Бабенцов В.Н., Власенко З.К., Власенко А.И., Любченко А.В. Распределение мелкой донорной примеси в пластине p-CdTe приееотжиге в парах Cd // ФТП, 1997, том 31, выпуск 5, Стр. 523

Аннотация Проведены экспериментальные исследования и численное моделирование процесса двустороннего легирования пластины p-CdTe мелкими донорами при ее отжиге в парах кадмия. Установлен ряд особенностей этого процесса--- корреляция в полосах низкотемпературной фотолюминесценции между разгоранием линии экситона, связанного на доноре, и гашением акцепторной линии, присущих рекомбинации на примеси Iгруппы таблицы Д.И.Менделеева, находящейся в междоузлиях и узлах Cd соответственно; существенное влияние диффузии на профиль распределения доноров. Полученные результаты позволяют оптимизировать процесс отжига.