Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1997-00-00 ОрганизацияИнститут микроэлектроники Российской академии наук, 150007 Ярославль, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Изменение оптических свойств пористого кремния вследствии термического отжига в вакууме

Киселев В.А., Полисадин С.В., Постников А.В.

Киселев В.А., Полисадин С.В., Постников А.В. Изменение оптических свойств пористого кремния вследствии термического отжига в вакууме // ФТП, 1997, том 31, выпуск 7, Стр. 830

Аннотация Определены оптические константы слоев пористого кремния в диапазоне 600/800 нм и исследовано влияние на них термического отжига в вакууме. Изменение комплексного показателя преломления связано с десорбцией реагентов и продуктов электрохимической обработки кремния. Установлено, что при нагреве до 600 oC температурный коэффициент изменения отражения слоя пористого кремния на длине волны 633 нм не превышает 10-6.