Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 1998-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Импульсные исследования диодных структур наоснове кремний-водородных пленок

Белов С.В., Лебедев А.А.

Белов С.В., Лебедев А.А. Импульсные исследования диодных структур наоснове кремний-водородных пленок // ФТП, 1998, том 32, выпуск 7, Стр. 889

Аннотация В представленной работе исследовались диодные структуры Me--кремний-водородная пленка--Si. Основные особенности проведенных измерений состоят в том, что, во-первых, использована методика сдвоенных импульсов напряжения прикладываемых к образцу и, во-вторых, измерения проведены в температурном диапазоне от 294 K до 334 K. Сопоставление полученных результатов с данными предыдущей работы позволило сделать достоверные оценки основных характеристик кремний-водородных пленок, таких как дрейфовая подвижность, концентрация ловушек, их энергия ионизации, сечение захвата носителей тока.