Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2000-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия &#36; Петербургский институт ядерной физики им.Б.П.Константинова Российской академии наук, 188850 Гатчина, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Элементный состав и электрические свойства пленок a-C : H&lt;Cu&gt;, полученных магнетронным распылением

Звонарева Т.К., Лебедев В.М., Полянская Т.А., Шаронова Л.В., Иванов-Омский В.И.

Звонарева Т.К., Лебедев В.М., Полянская Т.А., Шаронова Л.В., Иванов-Омский В.И. Элементный состав и электрические свойства пленок a-C : H<Cu>, полученных магнетронным распылением // ФТП, 2000, том 34, выпуск 9, Стр. 1135

Аннотация Методом магнетронного сораспыления графитовой и медной мишеней в аргоно-водородной атмосфере на постоянном токе получены пленки аморфного гидрогенизированного углерода с различной концентрацией меди. Определено относительное содержание атомов углерода, меди, кислорода с использованием метода обратного резерфордовского рассеяния протонов и метода ядерных реакций. Исследована удельная проводимость пленок на постоянном токе в геометрии вдоль и поперек пленки. Данные по проводимости обсуждаются в модели среды, представляющей собой диэлектрическую матрицу с включениями двух разных проводящих фаз в виде графитоподобных и медных нанокластеров.