Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Оптические свойства пленок аморфного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита

Иванов-Омский В.И., Толмачев А.В., Ястребов С.Г.

Иванов-Омский В.И., Толмачев А.В., Ястребов С.Г. Оптические свойства пленок аморфного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита // ФТП, 2001, том 35, выпуск 2, Стр. 227

Аннотация Методы эллипсометрии и спектрофотометрии в видимом и ближнем ультрафиолетовом диапазонах (1.5-5.6 эВ) применены для изучения термической стабильности аморфного углерода (a-C иa-C : H). Сиспользованием анализа Крамерса--Кронига была получена и проанализирована диэлектрическая функция аморфного углерода. Показано, что применение существующих подходов к анализу полученных данных для образцов, подвергнутых термическому воздействию, не является достаточным. Проведен анализ формы края фундаментального поглощения с учетом коллективных явлений в наноразмерных фрагментах графитоподобной составляющей структуры аморфного углерода. Показано, что существует два типа графитоподобных кластеров, вносящих вклад в спектральную зависимость края собственного поглощения и претерпевающих модификацию при термическом воздействии.