Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияЗапорожский государственный технический университет, 69063 Запорожье, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Низкотемпературная диффузия индия вгермании, стимулированная атомарным водородом

Матюшин В.М.

Матюшин В.М. Низкотемпературная диффузия индия вгермании, стимулированная атомарным водородом // ФТП, 2001, том 35, выпуск 3, Стр. 301

Аннотация Исследуется диффузия индия под воздействием энергии, выделяющейся при рекомбинации атомов водорода в молекулы. Кристаллы германия n-типа проводимости с пленками индия толщиной 0.2-0.3 мкм подвергались воздействию атомарного водорода в течение различного времени (до 2·104 с) при температурах, близких к комнатной. Диффузия индия в германии исследовалась методами лазерной масс-спектрометрии, рентгеноструктурного анализа, а также путем измерения спектров пропускания в инфракрасной области. Предложены механизмы стимулирования гетеродиффузии и сопутствующих процессов.