Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияИнститут физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук, 630090 Новосибирск, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Атомные процессы в полупроводниковых кристаллах

Смирнов Л.С.

Смирнов Л.С. Атомные процессы в полупроводниковых кристаллах // ФТП, 2001, том 35, выпуск 9, Стр. 1029

Аннотация Приведен исторический обзор становления под общим руководством и при участии Анатолия Васильевича Ржанова нового направления радиационной физики и технологии полупроводников. Направления, давшего массу практических приложений, но главное, заставившего коренным образом пересмотреть устоявшиеся ранее представления о реакциях в полупроводниковых кристаллах на основе данных о подвижной, подверженной внешним воздействиям, дефектно-примесной подсистеме. Развитые положения--- база для рассмотрения процессов на атомарном уровне, особенно при формировании и модификации активных кластеров и нанообъектов.