Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние легирования азотом на электрофизические свойства иэрбиевую электролюминесценцию пленок a-Si : H(Er)

Коньков О.И., Теруков Е.И., Границына Л.С.

Коньков О.И., Теруков Е.И., Границына Л.С. Влияние легирования азотом на электрофизические свойства иэрбиевую электролюминесценцию пленок a-Si : H(Er) // ФТП, 2001, том 35, выпуск 10, Стр. 1250

Аннотация Проведено исследование влияния легирования азотом на электрические и электролюминесцентные характеристики пленок аморфного гидрированного кремния, легированного эрбием. При этом параметры материала, характеристики структур на его основе и эффективность электролюминесценции эрбия (lambda=1.54 мкм) определяются превышением уровня легирования азотом над фоновым значением, определяемым концентрациейEr. Показано, что при уменьшении фоновой концентрации и сохранении легирования азотом на уровне ~ 1021 см-3 возможно получение эффективно люминесцирующих структур. Предложен возможный механизм, объясняющий такой эффект на основе двух форм встраивания атомов азота в структуру a-Si : H, легированногоEr: с образованием комплекса Er--N и с образованием заряженной дефектной пары N+4--Si3-, при этом эффективность электролюминесценции определяется количеством таких пар.