Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2001-00-00 Организация*Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия &#36;Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, Instituto de Ciencias, BUAP, Puebla 72570, Pue. Mexico ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Микрорезонаторы Фабри--Перо наоснове a-Si : H/a-SiOx : H сактивным слоем излегированного эрбием гидрогенизированного аморфного кремния

Голубев В.Г., Дукин А.А., Медведев А.В., Певцов А.Б., Селькин А.В., Феоктистов Н.А.

Голубев В.Г., Дукин А.А., Медведев А.В., Певцов А.Б., Селькин А.В., Феоктистов Н.А. Микрорезонаторы Фабри--Перо наоснове a-Si : H/a-SiOx : H сактивным слоем излегированного эрбием гидрогенизированного аморфного кремния // ФТП, 2001, том 35, выпуск 10, Стр. 1266

Аннотация Методом плазмохимического газофазного осаждения изготовлены микрорезонаторы Фабри--Перо на длину волны 1.5 мкм на основе a-Si : H и a-SiOx : H. Распределенные брэгговские отражатели и активный слой выращены в едином технологическом цикле. Активный полуволновый слой легирован эрбием в процессе роста с помощью металлорганического соединения. За счет высокого оптического контраста достигнута большая добротность микрорезонатора (Q=355) при 3периодах в распределенных брэгговских отражателях. При этом интенсивность фотолюминесценции эрбия из микрорезонатора оказывается на 2порядка выше по сравнению с интенсивностью излучения эрбия из идентичного слоя a-Si : H без распределенных брэгговских отражателей. Проанализированы спектры пропускания, отражения и фотолюминесценции. Установлено, что спектральная форма линии фотолюминесценции эрбия (переход 4I13/2-> 4I15/2) из микрорезонатора практически совпадает с формой резонансного пика его спектра пропускания. Выполнены теоретические расчеты, позволившие полностью описать наблюдаемые экспериментальные спектры.