Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияКазахский государственный национальный университет им. аль-Фараби, 480012 Алматы, Республика Казахстан ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Обработка поверхности кремния импульсной азотной плазмой

Баимбетов Ф.Б., Ибраев Б.М., Жукешов А.М.

Баимбетов Ф.Б., Ибраев Б.М., Жукешов А.М. Обработка поверхности кремния импульсной азотной плазмой // ФТП, 2002, том 36, выпуск 2, Стр. 197

Аннотация Методами инфракрасной спектроскопии и электронной микроскопии исследована структура поверхности монокристаллов кремния после плазменной обработки. Показано, что при облучении импульсной азотной плазмой в приповерхностной области формируется нитрид кремния.