Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияКиевский национальный университет им. Т.Шевченко (Физический факультет) 03127 Киев, Украина ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Стимулированное ультразвуком низкотемпературное перераспределение примесей вкремнии

Островский И.В., Надточий А.Б., Подолян А.А.

Островский И.В., Надточий А.Б., Подолян А.А. Стимулированное ультразвуком низкотемпературное перераспределение примесей вкремнии // ФТП, 2002, том 36, выпуск 4, Стр. 389

Аннотация С помощью вторичной ионной масс-спектрометрии и релаксации фотопроводимости исследовалось влияние ультразвуковой обработки на изменение концентрации примесей металлов в приповерхностных слоях кремния. Показано, что ультразвуковая обработка приводит к возрастанию концентрации примесей K и Na при комнатной температуре на поверхности образца.