Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияСанкт-Петербургский государственный электротехнический университет, 197376 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Моделирование низкотемпературной диффузии мышьяка из сильно легированного слоя кремния

Александров О.В.

Александров О.В. Моделирование низкотемпературной диффузии мышьяка из сильно легированного слоя кремния // ФТП, 2002, том 36, выпуск 4, Стр. 392

Аннотация На основе дуального парного механизма проведено моделирование низкотемпературной (500--800oC) диффузии мышьяка из сильно легированного слоя кремния. Аномально высокая скорость диффузии связывается сизбыточными собственными межузельными атомами, запасенными в слое во время предшествующей высокотемпературной стадии диффузии. Смещение концентрированного профиля в области средних концентраций обусловлено наличием максимума на концентрационной зависимости коэффициента диффузии и связано со значительной долей составляющей диффузии мышьяка посредством отрицательно заряженных собственных межузельных атомов (fI-~ 0.4).