Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2002-00-00 ОрганизацияМосковский государственный инженерно-физический институт (Технический университет), 115409 Москва, Россия * Институт общей и неорганической химии им. Н.С. Курнакова Российской академии наук, 117907 Москва, Россия &#36; Институт микропроцессорных вычис ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Изменение условий собирания примесей после долговременных отжигов

Быковский Ю.А., Воронкова Г.М., Григорьев В.В., Зуев В.В., Зуев А.В., Кирюхин А.Д., Чмырев В.И., Щербаков С.А.

Быковский Ю.А., Воронкова Г.М., Григорьев В.В., Зуев В.В., Зуев А.В., Кирюхин А.Д., Чмырев В.И., Щербаков С.А. Изменение условий собирания примесей после долговременных отжигов // ФТП, 2002, том 36, выпуск 7, Стр. 794

Аннотация Экспериментально показано изменение условий собирания примесей после долговременных отжигов, предшествующих диффузии примесных атомов. Вкачестве метки этих изменений используется золото в акцепторном состоянии, влияющее на величину удельного сопротивления и время релаксации фотопроводимости.