Профиль » Публикация

Аннотация На основе модели диффузии фосфора вкремнии по дуальному парному механизму проведен количественный анализ влияния стоков, связанных со структурными дефектами. Показано, что учет стоков для собственных межузельных атомов приводит кзамедлению ускоренной диффузии фосфора вобласти малых концентраций на хвосте концентрационного профиля. Влияние стоков наиболее сильно выражено при положении максимума их концентрации вобласти максимума генерации собственных межузельных атомов внутри диффузионного слоя. Из сравнения расчетов сэкспериментальными данными определены параметры захвата собственных межузельных атомов на структурные дефекты, введенные диффузией фосфора иимплантацией электрически неактивных примесейGe иN.