Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2003-00-00 ОрганизацияМосковский государственный университет им.М.В.Ломоносова, 119899 Москва, Россия * Philipps-Universitat Marburg, D-35032, Marburg, Germany ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние термического отжига наоптические и фотоэлектрические свойства пленок микрокристаллического гидрированного кремния

Казанский А.Г., Мелл Х., Форш П.А.

Казанский А.Г., Мелл Х., Форш П.А. Влияние термического отжига наоптические и фотоэлектрические свойства пленок микрокристаллического гидрированного кремния // ФТП, 2003, том 37, выпуск 2, Стр. 235

Аннотация Исследовано влияние термического отжига винтервале температур Ta=300-600oC пленок микрокристаллического гидрированного кремния (mu c-Si : H), слабо легированного бором, на спектральные зависимости коэффициента поглощения(alpha) вобласти энергий фотонов hnu=0.8-2.0 эВ, темновую проводимость(sigmad) и фотопроводимость(Deltasigmaph). Измерения проводились при комнатной температуре. Сувеличением температуры отжига наблюдалось немонотонное изменениеalpha в области энергий hnu