Профиль » Публикация
Опубликовано
2004-00-00
ОрганизацияНовосибирский государственный технический университет, 630092 Новосибирск, Россия
ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"
Пьезосопротивление в пленках поликристаллического кремния p-типа
Гридчин В.А., Любимский В.М. Пьезосопротивление в пленках поликристаллического кремния p-типа // ФТП, 2004, том 38, выпуск 8, Стр. 1013
Аннотация
Описан эффект пьезосопротивления в поликристаллическом кремнии p-типа при рассеянии дырок на межкристаллитных потенциальных барьерах. Величины коэффициентов эластосопротивления при этом типе рассеяния близки к величинам коэффициентов эластосопротивления при рассеянии на ионах примеси и акустических колебаниях решетки. Расхождение между экспериментальными и расчетными коэффициентами эластосопротивления, возможно, может быть устранено при учете изменения эффективных масс при деформации, несферичности валентной зоны, \glqq малых эффектов\grqq, а также учете дополнительного (дополнительных) механизмов рассеяния.
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален