Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2004-00-00 ОрганизацияФизико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Дрейфовая подвижность носителей заряда впористом карбиде кремния

Казакова Л.П., Мынбаева М.Г., Мынбаев К.Д.

Казакова Л.П., Мынбаева М.Г., Мынбаев К.Д. Дрейфовая подвижность носителей заряда впористом карбиде кремния // ФТП, 2004, том 38, выпуск 9, Стр. 1118

Аннотация Методом измерения времени пролета определены значения дрейфовой подвижности электронов и дырок в пористом карбиде кремния, полученном поверхностной анодизацией пластин 4H-SiC n-типа проводимости. Подвижности электронов и дырок при 300 K в электрическом поле104 В/см составили mue=6· 10-3 и muh=3· 10-3 см2/В·с соответственно. Низкие значения подвижности объясняются захватом носителей на локализованные состояния.