Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 Организация* Казанский физико-технический институт Российской академии наук, 420029 Казань, Россия + Институт физики и институт наномасштабных исследований им. Э.Шредингера, Карл-Франнценз-Университет, А-8010 Грац, Австрия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Влияние имплантации ионов меди наоптические свойства инизкотемпературную проводимость углеродных пленок

Файзрахманов И.А., Базаров В.В., Степанов А.Л., Хайбуллин И.Б.

Файзрахманов И.А., Базаров В.В., Степанов А.Л., Хайбуллин И.Б. Влияние имплантации ионов меди наоптические свойства инизкотемпературную проводимость углеродных пленок // ФТП, 2006, том 40, выпуск 4, Стр. 419

Аннотация Проведены исследования оптических и электрических свойств алмазоподобных пленок углерода, имплантированных ионами меди с энергией 40 кэВ дозами 3·1014-3·1017 ион / см2, а также влияние на них постимплантационного термического отжига в условиях вакуума. Установлено, что имплантированные атомы меди при дозах менее 6·1015 ион / см2 не влияют на электронные свойства углеродных пленок. Постимплантационный термический отжиг при температурах отжига ниже 500oC не приводит к их активации. Однако формирование наночастиц меди ведет к характерным изменениям оптических и электрических свойств углеродных пленок. Установлено, что эффективная оптическая щель композитной пленки, определенная из зависимости Тауца, является функцией фактора заполнения металлической фазы и может принимать отрицательные значения. Показано, что оптическое поглощение синтезированной медь-углеродной композитной пленки в видимой и ближней ультрафиолетовых областях спектра хорошо описывается на основе двухслойной модели. При формировании наночастиц меди в углеродной матрице происходит изменение температурной зависимости электропроводимости, однако механизм переноса заряда остается прыжковым. PACS: 73.50.Dn, 78.20.Ci, 61.72.Ww