Профиль » Публикация
Опубликовано
2006-00-00
ОрганизацияНациональный университет Узбекистана им. М.Улугбека, 700174 Ташкент, Узбекистан
ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"
Диффузия иттрия в кремнии
Назыров Д.Э., Базарбаев М.И., Иминов А.А. Диффузия иттрия в кремнии // ФТП, 2006, том 40, выпуск 7, Стр. 788
Аннотация
Впервые исследована диффузия иттрия в кремнии. Диффузия проводилась на воздухе или в вакууме в интервале температур 1100-1250oC. Температурная зависимость коэффициента диффузии иттрия в кремнии описывается соотношением D=8·10-3exp(-2.9 эВ/kT) см2с-1. Выявлена акцепторная природа иттрия вкремнии. PACS: 66.30.Jt; 71.55.Cn
http://www.ioffe.rssi.ru/journals/ftp/2006/07/p788-789.pdf
Показать статистику Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
