Профиль » Публикация

Поделиться публикацией:

Опубликовано 2006-00-00 Организация* Физико-технический институт им.А.Ф.Иоффе Российской академии наук, 194021 Санкт-Петербург, Россия 1 + Санкт-Петербургский университет информационных технологий, механики и оптики, 197101 Санкт-Петербург, Россия ЖурналЖурнал "Физика и Техника Полупроводников"

Окислительно-гравиметрическая порометрия макропористого кремния

Нечитайлов А.А., Астрова Е.В., Кукушкина Ю.А., Каменева С.Ю.

Нечитайлов А.А., Астрова Е.В., Кукушкина Ю.А., Каменева С.Ю. Окислительно-гравиметрическая порометрия макропористого кремния // ФТП, 2006, том 40, выпуск 10, Стр. 1254

Аннотация Предложен и опробован простой неразрушающий метод определения площади внутренней поверхности, пористости, диаметра и плотности пор в макропористом кремнии со сквозными каналами. Пористостьp находят из потери массы в процессе анодирования, площадь поверхности на единицу объемаSv--- из массы двуокиси кремния, образующейся на поверхности пор в результате термического окисления. Приводятся соотношения для определения средних диаметраd и плотности порN из полученныхp иSv. Проведены исследования удельной площади поверхности и пористости в зависимости от удельного сопротивления исходного n-Si в диапазоне rho=3-25 Ом · см в образцах с упорядоченной и самоорганизующейся решеткой макропор. Полученные значения лежат в диапазоне p=27-50%, Sv=2800-6000 см2/см3, d=1.9-6.5 мкм, N=1.4-10· 106 см-2 и согласуются с данными микроскопических исследований. PACS: 61.43.Gt, 81.05.Rm, 81.65.Mg