Профиль » Публикация
Опубликовано на SciPeople2010-05-24 15:14:45
Юрьевич Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники
Аспирант О.Д. Юрьевич Структура и свойства функциональных слоев нитрида кремния на различных стадиях их формирования в технологии устройств нано- и микросистемной техники: автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.02.01. - M, 2008.
Аннотация
http://www.mati.ru/science/refobijaev.doc
Показать статистику Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален
