Профиль » Публикация
Опубликовано на SciPeople2010-05-24 16:03:29
Технология структур «карбид кремния-кремний» для приборов микроэлектроники и микросистемной техники
Матузов А.В. Технология структур «карбид кремния-кремний» для приборов микроэлектроники и микросистемной техники : автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06. - M, 2008.
Аннотация
Комментарии
Вам необходимо зайти или зарегистрироваться для комментирования
Этот комментарий был удален
Этот комментарий был удален